太阳成集团61999

Formfactor EPS150T探针台介绍

一、、仪器照片

二、、根基信息

品牌：：：Formfactor

型号：：：EPS150T

仪器类型：：：高精度自动化探针台

利用领域：：：宽泛合用于半导体器件、、微电子元件、、新资料的电学机能测试，
，涵盖晶圆级测试、、芯片失效分析、、传感器机能验证、、MEMS器件表征等场景，
，适配研发尝试室、、半导体制作工厂及第三方检测机构的测试需要。

三、、重要特点

1. 载物台机能优异：：：主题Chuck Stage载物台选取高精度传动与闭环伺服节制，
，X/Y轴155mm×155mm大行程设计，
，可轻松承载≤150mm晶圆等大尺寸样品，
，无需频仍调整即可完玉成区域测试，
，两全测试广度与效能；建设真空吸附职能，
，能牢固固定各类样品，
，保险测试过程中样品无位移。

2. 测试适配性强：：：支持4~8个独立探针臂选配，
，可适配直流、、射频、、高温等分歧类型探针，
，能实现多通道并行测试，
，满足电压、、电流、、电阻等多种电学参数丈量需要。

3. 操作便捷高效：：：兼容专用自动化测试软件，
，可实现样品加载、、定位、、测试及数据纪录的全流程自动化，
，同时支持电动驱动与手动微调，
，搭配高倍率光学观察系统，
，辅助精准对位，
，降低操作难度。

4. 环境适应性好：：：可选配温控？、、防尘防振外壳及惰性气体；げ，
，能适配凹凸温极端环境测试及敏感样品测试，
，保险测试环境不变性与数据靠得住性。

四、、技术参数

1. 载物台参数：：：X/Y轴最大行程155mm×155mm；定位精度±1μm；反复定位精度≤0.5μm；台面平面度≤5μm/100mm。

2. 其他关键参数：：：探针臂数量可配4~8个；移动速度调节领域0.1mm/s~50mm/s；可选温控领域-60℃~200℃。